Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

  • 发布日期：2024-03-15
  • 实施日期：2024-10-01
  • 状态：现行

国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司。主要起草人伍超群 、于洪宇 、乔明胜 、陈文龙 、周鹏 、邱杨 、黄晋华 、汪青 、程鑫 。

基础信息

  • 标准号：GB/T 43748-2024
  • 标准类别：方法
  • 发布日期：2024-03-15
  • 实施日期：2024-10-01
  • 部分代替标准：暂无
  • 全部代替标准：暂无
  • 中国标准分类号：N 33
  • 国际标准分类号：71化工技术71.040分析化学71.040.40化学分析
  • 归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
  • 执行单位：暂无
  • 主管部门：全国微束分析标准化技术委员会

采标情况

暂无

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心

胜科纳米（苏州）股份有限公司

南方科技大学

起草人

伍超群

于洪宇

周鹏

邱杨

程鑫

乔明胜

陈文龙

黄晋华

汪青

相近标准

GB/T 43610-2023 微束分析 分析电子显微术 线状晶体表观生长方向的透射电子显微术测定方法

20231333-T-469 微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

20231342-T-469 微束分析 透射电子显微术 聚合物复合材料超薄切片制备方法

GB/T 35098-2018 微束分析 透射电子显微术 植物病毒形态学的透射电子显微镜鉴定方法

GB/T 18907-2013 微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法

20241969-T-469 微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序

GB/T 20724-2021 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

20231337-T-469 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法

GB/T 43088-2023 微束分析 分析电子显微术 金属薄晶体试样中位错密度的测定方法

20241617-T-469 微束分析 体电子显微术 生物材料的聚焦离子束扫描电子显微镜三维成像方法